多晶硅還原電極的結(jié)構(gòu)包括哪幾部分組成
發(fā)布時間：2021-6-23 11:33:26 來源:http://www.dun31f.cn/ 作者: 鎮(zhèn)江市旺盛合金材料有限公司
多晶硅還原電極包括:底盤和爐體,所述爐體連接在所述底盤上且在所述爐體與所述底盤之間限定出反應(yīng)腔室;三十對電極,所述三十對電極設(shè)在所述底盤上且分別分布在第一至第六圈上,所述第一至第六圈為以所述底盤中心為中心且由內(nèi)向外依次增大的六個同心正五邊形;進(jìn)氣系統(tǒng),所述進(jìn)氣系統(tǒng)包括設(shè)在所述底盤中部的多個噴嘴;和排氣系統(tǒng),所述排氣系統(tǒng)包括多個排氣口,所述排氣口設(shè)在所述底盤上且位于所述第五圈與所述底盤的之間.根據(jù)本實用新型的多晶硅還原爐,可以合理利用熱能,同時也可以避免爐體內(nèi)側(cè)壁帶走過多熱量,可以降低熱量損耗.
多晶硅還原電極其特征在于，包括：底盤和爐體，所述爐體連接在所述底盤上且在所述爐體與所述底盤之間限定出反應(yīng)腔室；三十對電極，所述三十對電極設(shè)在所述底盤上且分別分布在第一至第六圈上，所述第一至第六圈為以所述底盤中心為中心且由內(nèi)向外依次增大的六個同心正五邊形；進(jìn)氣系統(tǒng)，所述進(jìn)氣系統(tǒng)包括設(shè)在所述底盤中部的多個噴嘴；和排氣系統(tǒng)，所述排氣系統(tǒng)包括多個排氣口，所述排氣口設(shè)在所述底盤上且位于所述第五圈與所述底盤的外周沿之間。
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