多晶硅還原電極的還原法生產工藝
發布時間：2022-7-21 14:57:55 來源:http://www.dun31f.cn/ 作者: 鎮江市旺盛合金材料有限公司
多晶硅還原電極還原法，生產過程中工藝氣體被硅芯電極加熱至110(TC左右，使三氯氫硅(SiHCl3)與氫氣(H2)反應生成多晶硅并沉積在硅芯電極表面，形成硅棒。硅芯電極的工作電壓在15,000V左右，在如此高溫高壓的條件下，對硅芯電極的要求非常高。目前采用的硅芯電極主要包括電極體、加熱石墨頭硅芯、電極座，其中電極座與電極體之間用絕緣套簡進行絕緣，絕緣套簡的成分為聚四氟乙烯。由于還原爐內溫度非常高，雖然通過設備底盤對電極座進行冷卻，但聚四氟乙烯絕緣體所處環境的溫度仍然很高，在長時間運行后容易失效，造成電極座與電極體之間擊穿，導致生產事故。
文章出處：http://www.dun31f.cn/gongsixinwen/431.html
上一篇：鈹鈷銅具有哪些突出的性能
下一篇：_!
相關新聞
- 2022-07-21多晶硅還原電極的還原法生產工藝
- 2022-07-21鈹鈷銅具有哪些突出的性能
- 2022-07-13鋅鋁合金焊絲的六個焊前準備步驟
- 2022-06-22多晶硅還原電極的制作方法
- 2022-05-20鉻鋯銅電極的四個性能特點
- 2022-05-12多晶硅還原電極的主要特點與應用
- 2022-04-26鉻鋯銅電極大量應用于哪些方面
- 2022-04-18鉻鋯銅電極的軟化溫度是多少
相關產品
